L'SP3-61 è un sensore di gas a semiconduttore a diossido di indio/stagno che ha un'elevata sensibilità e selettività all'ozono. Utilizzando questo modello, è possibile rilevare l'ozono da intervalli di bassa concentrazione.
Structure
Il materiale semiconduttore sensibile all'ozono è formato in modo sottile sul substrato di allumina su cui sono stampati gli elettrodi d'oro. Un riscaldatore a film spesso di ossido di rutenio è stampato sul retro del substrato e posizionato nell'alloggiamento in ceramica a rete.
