Comprensione delle specifiche comuni per gli stampi in silicio MEMS

Per valutare la qualità e le prestazioni di un die in silicio MEMS, i clienti devono fare affidamento sulle specifiche...

... almeno fino a quando non possono testare le parti da soli. Questo articolo discuterà le specifiche più comuni relative a questi stampi per sensori di pressione.

La cosa principale da capire sugli stampi MEMS è che quando sono esposti a pressione o temperatura, produrranno un'uscita corrispondente, che sarà in millivolt, a condizione che sia stata fornita una tensione di ingresso o una tensione di eccitazione. L'uscita in millivolt dal die MEMS è essenzialmente il valore della pressione. Pertanto, la caratteristica generale da cercare in qualsiasi stampo MEMS è un output stabile e ripetibile quando il die viene testato in varie condizioni.

Leggi l'articolo completo nel link sottostante per scoprire le specifiche comuni utilizzate per caratterizzare le prestazioni di uno stampo con sensore di pressione in diverse condizioni operative.